Il sistema di filtrazione in una stanza pulita per semiconduttori è un elemento chiave per mantenere l'ambiente interno pulito e privo di polvere.Per garantire l'efficiente funzionamento del sistema di filtrazione e prolungarne la durata di vita, dobbiamo prendere una serie di misure di manutenzione e di manutenzione.
Pulizia regolare del filtro: il filtro nella stanza pulita dei semiconduttori è il componente centrale per garantire la pulizia dell'aria,quindi il filtro deve essere pulito o sostituito regolarmente per evitare che polveri e particelle ostruiscano il materiale filtrico e ne influenzino l'effetto di filtrazione. Quando si pulisce il filtro, si devono utilizzare detergenti e attrezzi speciali per evitare danni al materiale del filtro.
Le condizioni di funzionamento del sistema di scarico influenzano direttamente la qualità dell'aria nella stanza pulita.Ispezione comprende ventilatore, condotto d'aria, portata di scarico e altri componenti, se riscontrato danneggiato o malfunzionante, deve essere riparato o sostituito in tempo.
L'installazione di apparecchiature di monitoraggio della qualità dell'aria consente di monitorare in tempo reale la qualità dell'aria nella stanza pulita dei semiconduttori.in modo che i problemi di qualità dell'aria possano essere individuati tempestivamente e che possano essere adottate misure corrispondentiAd esempio, quando la concentrazione di particelle nell'aria supera il valore impostato,il filtro di riserva può essere attivato o il tempo di pulizia può essere aumentato per ridurre la concentrazione di particelle.
I consumabili e gli accessori nelle sale pulite dei semiconduttori, come cappelli e guanti chirurgici, devono essere sostituiti periodicamente per assicurarne la pulizia e la sterilizzazione.Quando si sostituiscono materiali di consumo e accessori, occorre fare attenzione a selezionare prodotti che soddisfino i requisiti e seguano le procedure operative prescritte.
Gli operatori di sale pulite per semiconduttori dovrebbero ricevere una formazione sistematica per comprendere il principio, il funzionamento e i metodi di manutenzione del sistema di filtrazione,e migliorare le competenze operative e la consapevolezza della sicurezzaAttraverso la formazione, gli operatori possono comprendere meglio le condizioni di funzionamento del sistema di filtrazione, rilevare tempestivamente e risolvere i problemi.
In base alla situazione effettiva della stanza pulita dei semiconduttori, elaborare un piano di manutenzione dettagliato del sistema di filtrazione, compreso il ciclo di pulizia, il ciclo di ispezione, il ciclo di sostituzione, ecc.La manutenzione in conformità al piano può garantire il funzionamento stabile a lungo termine del sistema di filtrazione e l'effetto di filtrazione.
Stabilire registri di manutenzione e registri di manutenzione del sistema di filtrazione per registrare il tempo, il contenuto, il personale e altre informazioni di ogni manutenzione.comprendere lo stato di funzionamento del sistema di filtrazione e i problemi esistenti, e trovarli e risolverli in tempo.
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