Le sale pulite modulari sono progettate con una logica di "blocco di costruzione", consentendo alle fabbriche di semiconduttori di adattare la disposizione dello spazio in base a specifiche esigenze di processo.
Ad esempio, le aree per la fotolitografia, l'incisione e l'imballaggio possono essere configurate con diversi livelli di pulizia (da ISO 1 a ISO 9) in modo indipendente.
Questa flessibilità elimina la necessità di ricostruzioni su larga scala quando si aggiornano le linee di produzione, riducendo significativamente i tempi di fermo.
I pannelli modulari, di solito realizzati in lega di alluminio o acciaio galvanizzato, possono essere assemblati e smontati rapidamente,sostenere una rapida espansione o un adeguamento delle aree delle sale pulite in base ai cambiamenti delle scale di produzione.
Ogni unità modulare di stanza pulita è progettata con sistemi di tenuta integrati, inclusi giunti con guarnizioni e controlli differenziali di pressione, per evitare la contaminazione incrociata tra le zone.
Anche i sistemi HVAC sono modularizzati, con unità di trattamento dell'aria (AHU) dedicate per ogni sezione, garantendo un controllo preciso della temperatura (± 0,5 ° C), dell'umidità (± 2%) e del numero di particelle.
I filtri per aria a particolato ad alta efficienza (HEPA) o per aria a penetrazione ultra-bassa (ULPA) sono incorporati nei pannelli di soffitto e di parete,fornendo un flusso di aria laminare unidirezionale che riduce al minimo l'accumulo di particelle sui wafer.
Inoltre, le sale pulite modulari dispongono di sistemi integrati di drenaggio del pavimento e di gestione dei rifiuti, contenenti materiali pericolosi all'interno di zone specifiche per evitare la diffusione di contaminanti.
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